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更新時(shí)間:2025-03-13
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美國Coherent EnergyMax-USB J-50MUV-248支持 USB 的 800 μJ 至 1J 脈沖能量傳感器，重復(fù)頻率高達(dá) 200 pps，光譜范圍為 0.19 至 0.266 μm，有效區(qū)域直徑為 50 mm。帶有 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器的熱釋電能量傳感器，用于以高達(dá) 200 pps 的速度測量 800 μJ 至 1J 的激光脈沖。直接 USB 接口。
這款 J-50MUV-248 能量傳感器采用 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器，以提高最大能量密度，并針對在 193 nm 下工作的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接在 248 nm 處校準(zhǔn)，包括 193 nm 至 266 nm 的光譜補(bǔ)償。
EnergyMax-USB J-50MUV-248 能量傳感器端接在直接連接到 PC 的 USB 電纜中。提供 DB25 模型 （PN 1110572）。
大型散熱器 （PN 1123432） 可用于通過提高平均功率能力來擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)頻率。
主要特點(diǎn)
193 至 266 nm 光譜范圍
50 mm 有效區(qū)域直徑
800 μJ 至 1J 能量范圍
200 pps 重復(fù)率操作
直接 USB 接口
ISO 17025 認(rèn)證
產(chǎn)品規(guī)格
| 電纜類型 | USB接口 |
| 有效面積直徑 | 50 毫米 |
| 探測器涂層 | 最大UV |
| 能量范圍 | 800 μJ 至 1J |
| 波長范圍 | 190 nm 至 266 nm |
| 噪聲等效能量 | <80 μJ |
| 波長范圍 （微米） | 0.19 至 0.266 |
| 最大平均功率（瓦特） | 15 |
| 最大脈沖寬度（微秒） | 86 |
| 最大能量密度（毫焦耳/平方厘米） | 200（193 nm，10 ns） |
| 擴(kuò)散 | Yes |
| 校準(zhǔn)不確定度 （%）（k=2） | ±3 |
| 能量線性度 （%） | ±3 |
| 校準(zhǔn)波長（納米） | 193 |
| 電纜長度（米） | 3 |
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